环境扫描电镜
- 仪器分类：分析仪器
- 仪器型号：FEI Prisma E
- 英文名称：Environmental scanning electro
- 所属单位：三峡大学
- 制造厂商：赛默飞世尔
- 原值金额：200万
联 系 人：李锋
联系电话：0717-6363725
服务领域
主要功能
- 1. 超分辨成像：0.6 nm高分辨（15 kV）结合MultiSignal Imaging技术，同步采集二次电子（SE）/背散射电子（BSE）/透射电子（TE）信号，实现纳米结构多维度表征；
2. 极端条件分析：
超低电压观测（0.02 kV）→ 敏感材料（MOFs、钙钛矿）无损伤成像
低真空模式（0.1–2000 Pa）→ 含水/含油样品免镀层直接分析；
3. 智能自动化：
Compass自动化平台：预设程序完成多位置/多样品分析（效率提升50%）
AutoScript 4.0脚本引擎：自动执行能谱面扫/线扫（支持Python自定义流程）；
4. 原位分析套件：
MultiChem等离子清洗：原位去除碳氢污染（保真界面分析）
冷冻传输选件（-30°C）→ 生物样品/锂电池电解质微结构解析；
5. 半导体专用功能：
晶圆级检测：8英寸晶圆全自动导航（缺陷定位精度±0.5 μm）
电压对比成像（VC）：定位集成电路微短路故障。
主要技术指标
- 分辨率：0.6 nm（@15 kV）/ 0.7 nm（@1 kV）；加速电压：0.02–30 kV；束流范围：1 pA–200 nA。
对外共享规定
用户须知
