X射线光电子能谱仪
- 仪器分类：分析仪器
- 仪器型号：Shimadzu Axis Supra
- 英文名称：X-ray photoelectron spectromet
- 所属单位：三峡大学
- 制造厂商：日本岛津
- 原值金额：500万
联 系 人：李锋
联系电话：0717-6363725
服务领域
主要功能
- 主要用来表征材料表面元素及其化学状态。功能包括：表面定性与定量分析；维持10um以下的空间分辨率元素成分包括化学态的深度分析；线扫描或面扫描以得到线或面上的元素或化学态分布；成像功能；可进行深度分析适合：纳米薄膜材料，微电子材料，催化剂，高分子材料的表面和界面研究；可进行半导体UPS测试。
主要技术指标
- 单色化X光源，最大功率600W，Al单色XPS指标（Ag 3d5/2峰，半高全宽@灵敏度）；Ag单色XPS指标（Ag 3d5/2峰，半高全宽@灵敏度）。
静电传输透镜：能量扫描范围：-10-3200eV(XPS)/0-65 eV(UPS)；最小扫描能量步长3.125 meV(XPS)/1 meV(UPS)。
荷电中和器：与静电传输透镜同轴的超低能单电子源，避免对粗糙表面（如粉末样品）荷电中和时产生荷电阴影。
检测器：多通道板（MCP）堆栈作为电子倍增器，双层128物理通道的二维阵列延迟检测器（DLD），可满足XPS采谱和成像XPS、微区XPS、深度剖析XPS、动态XPS的测试需求。
UPS不间断电源，型号规格为FD-8315L，含隔离变压器，输出电压230W，满足持续运行2小时。
循环冷却系统：规格型号为BLK 2，制冷功率2000W。
对外共享规定
- 常规 XPS 收费：700 元/样，每加 1 个窄扫加收 110 元；
氩离子刻蚀深度剖析：3500 元/样（3 小时内），每增加 1 小时，加收 1000 元；
角分辨：每个角度按 1 个样品算；
XPS 成像：1000 元/图；
UPS：1000 元/样；
价带谱：1250 元/谱；
解谱：500 元/谱；
氩离子清洗：200 元/次，每 5 分钟算 1次。
用户须知
