李少平

科研专家新一代信息技术

  • 所属单位:湖北三峡实验室副务主任
  • 所属地区:宜昌
  • 联系方式:

任湖北三峡实验室副务主任、兴发集团党委副书记,正高级工程师,获首届“国家卓越工程师”等荣誉,享受国务院特殊津贴专家,先后荣获国家科技进步二等奖、省科技进步一等奖等。长期从事芯片用超高纯湿电子化学品技术研发和产业化工作,主持完成了国家重大产业攻关、国家重点研发计划、国家02专项课题和湖北省重大科技专项各1项。

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所属行业
半导体材料科学
技术领域
主要主攻芯片制造用超高纯湿电子化学品技术,这是半导体材料与精细化工交叉的关键技术领域。其核心在于研发和生产高纯度、低杂质、适用于集成电路制造过程中清洗、刻蚀等环节的湿法化学品,如高纯硫酸、过氧化氢、氢氟酸等。该技术对杂质控制、微量金属离子去除、材料兼容性和稳定性要求极高,是支撑先进芯片制程可靠性和良率的基础,对提升我国半导体材料自主可控水平具有重要意义。
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